[영상]"진공뷰포트 부품의 혁신"..티엔지, 오링형 일체형 뷰포트 개발


반도체, LCD(액정화면), OLED(유기발광다이오드) 등은 증착(진공 상태에서 금속이나 화합물 따위를 가열·증발시켜 그 증기를 물체 표면에 얇은 막으로 입히는 일) 및 식각(회로를 제외한 웨이퍼의 불필요한 부분을 깎아내는 과정) 공정을 반드시 거친다.

이 과정에서 대기를 차단할 수 있는 진공챔버(반도체와 디스플레이 제조 공정에 사용되는 장비)가 사용된다.

이때 진공챔버 내부에서 이뤄지는 공정 상황을 파악할 수 있는 뷰포트 설치가 필수적이다.

뷰포트는 창틀 역할을 하는 하우징(housing)과 내부를 볼 수 있도록 제작된 투명한 윈도우(window)로 구성된다.

기존에는 설계자가 직접 하우징과 윈도우를 설계·제작한 뒤 이를 진공챔버에 설치하는 것이 일반적이었다. 설계가 필요없는 일체형 뷰포트도 시중에 출시됐지만 용접타입(하우징과 윈도우를 결합하는 방식)으로 고가 제품이 대부분이다.

이런 시장을 개선하고자 ㈜티엔지가 지난 2017년 오링(물 따위가 새는 것을 막는 데 쓰는 원형의 고리)을 사용한 일체용 뷰포트를 세계 최초로 개발했다.

㈜티엔지 김춘식 대표는 "진공장비 설계업체에서 근무하면서 쌓아온 기술력과 공정화 장비 개선에 대한 끊임없는 고민이 창업의 발판이 됐다"며 "지난 2017년 뷰포트 설계·제작 과정의 번거로움 해소는 물론 가격 경쟁력까지 갖춘 일체형 뷰포트를 개발했고, 이 창업 아이템으로 지난 2019년 창업에 도전했다"고 설명했다.